微量特种气体的FT-IR定量分析

作者：李福芬; 曲庆; 杨铁; 乔晓梅; 张孝玉大连大特气体有限公司
出处：本文来源于网络

【关键词】FT-IR,,微量,,氮氧化物,,氨,,氯化氢,,氯硅烷

【摘要】利用傅立叶变换红外光谱法对微量一氧化氮、二氧化氮、氧化亚氮、氨气、氯化氢、二氧化硫、二氯氢硅、三氯氢硅、四氯化硅等使用常规方法分析难度大、灵敏度不足、操作复杂的气体样品进行了定量分析。在恒定实验条件下进样,分辨率为4 cm-1,扫描8次,可以得到理想的分析结果。以氨气、一氧化氮和二氧化氮为例的定量分析结果表明,该方法重复性良好(相对标准偏差<1%),在所测浓度范围内线性良好(R2>0.999),扩展不确定度小(<4%),可用于某些具有红外吸收气体物质的定量分析,为这些难定量物质的准确定量提供了可靠的方法。

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